京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
精密計測加工学研究室

高精密・超精密位置決めと機械加工

位置決め分解能1〜0.1nmの超精密加工機,位置決め分解能0.1um〜10nmの高精密加工機に必要とされる, 高精密・超精密位置決めに関連する技術と,それを基礎とした機械加工技術を研究しています.

デジタルカメラ,DVDレコーダ,フラットパネルディスプレイなどの情報家電の高性能化・低価格化に伴い, 光学部品の精密金型や電子部品の加工に主に用いられる,超精密加工機(1〜0.1nn程度の位置決め分解能を持つ加工機), 高精密加工機(0.1um〜10nm程度の位置決め分解能を持つ加工機)と呼ばれる工作機械が近年急速に普及してきました. 本研究室では,これらの機械に対する多様な要求を満たすために必要な,要素技術,制御技術,計測技術など多くの観点から研究を行っています.

運動誤差の計測と補正を基礎とした高精密加工 運動誤差の計測と補正を基礎とした高精密加工
送り軸の運動誤差を計測し,そのオンライン補正を基礎として,サブミクロンオーダの高精密加工を実現するための研究を行っています.(2008年3月).

マイクロ切削加工機の振動解析・制御 マイクロ切削加工機の振動解析・制御
サブミクロンオーダの高精密加工に対し,外部からの外乱振動や,加工機自体の振動がどのような影響を及ぼすか, どのように制御すべきかを研究しています.(2008年3月).

ボールねじ支持軸受に圧電アクチュエータを組み込んだ精密位置決め装置 ボールねじ支持軸受に圧電アクチュエータを組み込んだ精密位置決め装置
ボールねじ支持軸受に圧電アクチュエータを組み込み,ボールねじ駆動による粗動と,圧電アクチュエータ駆動による微動を組み合わせ, ナノメートルオーダの位置決め分解能を持つ装置を製作しました.それを工具のZ軸方向の位置補正に応用します(2008年3月).

ボールねじ送り系の高精度化に関する研究 ボールねじ送り系の高精度化に関する研究
依然として工作機械の位置決め方式の主流を占めるボールねじ駆動方式について,高精度化の可能性及び限界について研究します. 高精度ボールねじと空気静圧案内を持つテストスタンドを製作しました.(2005年3月)